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AC 110V 和 208-240V(50/60Hz)可切换,适用于全球供电环境

型号AC 110V and 208-240V (50/60Hz) switchable for worldwide operation.

AC 110V 和 208-240V(50/60Hz)可切换,适用于全球供电环境。

水含量 250mm
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

通用

水含量 250mm

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

技术规格

 

电源
  • AC 110V 和 208-240V(50/60Hz)可切换,适用于全球供电环境。
 8 英寸研磨盘
  • Ø8 英寸铸铁研磨盘
  • Ø8 英寸铝盘,可安装不同抛光介质。 
  • 平面度 < 2.5 微米/平方英寸
工作站摆动速度
  • 两个独立摆动工位
  • 摆动速度 0-20 次/分钟
样品夹具
  • 两个 Ø80 × 35 mm 夹具,适用于 < Ø3 英寸晶圆,配调节环
  • (选配)边缘抛光样品夹具,PF-3E 
  • (选配)2 英寸精密/自动减薄与抛光夹具 
  • (选配)3 英寸桃形夹具,用于 1 英寸样品抛光(2 × 3 样品)
  • (选配)氧化铝研磨平台、样品夹具和调节环
两个调节环
  • 外径 95 × 内径 88 × 厚度 32 mm
主盘转速范围
  • 0~250 rpm 可调,带数字显示
操作定时器
  • 0-99 小时
电机
  • 300 W 高扭矩直流电机
(选配)抛光液供给器

 
  • SKZD-2 自动抛光液供给器
  • 塑料滚筒容器可容纳最多 1.0 加仑(约 3.8 L)抛光液,适合长时间抛光
认证
  • CE 认证
  • 可选 NRTL 认证,需额外费用

 

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